工業廢氣根據污染物的不同，可以分為除塵、脫硫脫硝技術，有機廢氣VOC去除等。
【有機廢氣的處理】
目前在國際國內針對工業廢氣處理，有機廢氣的處理方法主要有物理法、化學法、生物法，包括吸附、直接燃燒、催化燃燒、化學氧化、生物濾池等處理手段，現階段我國目前針對有機廢氣處理工藝主要有：隔離法、燃燒法、吸收法、冷凝法、等離子低溫催化氧化法、吸附法等。
【工業廢氣處理方法比較一工業廢氣處理隔離法】
是通過特種過濾材料，置放於廢氣外排過程，經機械隔離，從而達到廢氣治理效果。
優點：對霧狀膠煙治理效率高，無技術要求，操作簡單。
缺點：不能有效去除有機物，風阻大。
【工業廢氣處理方法比較二工業廢氣處理燃燒法】
利用加熱高溫的方法，將有機廢氣直接燃燒處理，以達到廢氣凈化的目的。
優點：凈化效率高，可達95%以上。
缺點：需要大量熱能，需要消耗大量能源，也易在高溫下生成NOX等造成二次污染。
【工業廢氣處理方法比較三工業廢氣處理吸收法】
利用吸收液與廢氣相互接觸，使廢氣中的有害物質溶入吸收液中，從而使廢氣得以凈化。吸收液另行處理。
優點：工業廢氣處理技術投資小，運行費用低，操作簡單。
缺點：處理效率低，不穩定，凈化效率不高，約為50%，難於達到相關環保要求，適合低濃度有機廢氣，有二次污染。
【工業廢氣處理方法比較四工業廢氣處理冷凝法】
通過冷凝降溫，當溫度低于有害物質的凝結點時，氣態的有害物質轉化為液態，從空氣中分離出來，從而凈化。
優點：廢氣處理環保設備運行穩定，凈化效率高。
缺點：投資較大，對環境及操作人員要求較高，且能耗過大，運行費用高。
【工業廢氣處理方法比較五工業等離低溫催化氧化法】
等離子體是物質存在的除固態、液態、氣態之外的第四種狀態，具有宏觀度內的電中性與高導電性。等離子體中含有大量的活性電子、離子、激發態粒子和光子等。這些活性粒子和氣體分子碰撣的結果，產生大量的強氧化性自由基O·、OH·、HO2 和氧化性很強的O3;有機物分子受到高能電子碰撞，被激發及原子健斷裂而形成小碎片基團或原子;O·、OH·、HO2、O3等與激發原子、有機物分子、基團、自由基等反應，最終使有機物分子氧化降解為CO、CO2和HO2。
優點：廣泛適用性，適合于處理低濃度(〈1～1000ppm〉)、劇毒劇臭的有害氣體，彌補了其他有機廢氣處理技術無法處理的空白。以及操作簡單。
缺點：單獨的低溫等離子體技術在處理有害氣體時還是有其欠缺的地方，如不能完全徹底地把有害氣體轉化為無害氣體，副產物較多;且在氧等離子體下產生大量的臭氧;能耗較高;脫除效率較低等。
【工業廢氣處理方法比較六活性炭吸附裝置吸附法】
利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等分子級的大表面剩余能，將有機氣體分子吸附到其表面，從而凈化。
優點：環保設備廢氣處理效率高(活性炭吸附可達99%以上)，適用廣泛，操作簡單，投資費用低，運行費用相對較低。
缺點：系統風壓損失大，吸附劑的飽和點難掌握，吸附劑容量有限。
目前工業廢氣處理方法控制技術需從處理效果、工程投資、運行成本、自控程度、占地大小和有無二次污染等方面對技術裝備進行評價。在一些發達國家，如美國和加拿大，針對廢氣處理的法規大多屬公害法類的州或省級，以及地方法規，而沒有聯邦一級的統一法規。在實施方面也是本著因地制宜的原則，選用最適合于本地區和本現場的具體情況的控制方案和技術設備。目前我國從事廢氣處理控制的專業單位不多，尚不俱備從項目整體規劃，工程設計，廢氣處理設備制造，系統集成和運行管理的綜合能力。即使在一些發達國家，廢氣治理管理和控制技術比起其它處理技術本身也是一個較新的領域，因此，單元操作仍然是有機廢氣處理方法的主流。
